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涡轮分子泵抽气系统。涡轮分子泵可以串联干式机械泵组成无油超高真空系统，不烘烤可以实现10-6Pa的真空度，经烘烤可以达到10-8Pa的真空度。如果串联扩散泵作为前级泵，降低前级管道中的氢分压，配合钛升华阱可以获得高于10-9Pa以上的真空度。由于涡轮分子泵内表面积大，因此烘烤除气是非常必要的，但烘烤温度一般只允许到100℃左右。进口真空泵维修

停止或启动时发出巨大噪音

　　原因：电机供电电压不足；电机缺相运行；泵长期未使用，造成腐蚀；泵吸收杂质；叶轮拉动分配板。

　　故障排除：检查电源电压是否过低；检查电机接线是否牢固；如果泵长时间不使用，可以添加除锈剂或打开泵盖进行除锈；打开泵盖清除杂质；调整叶轮和分配板之间的距离。进口真空泵维修

  在分子流动范围内（即在压力低于 10-3毫巴 （0.75 x 10-3Torr）） 气体分子的平均自由程大于转子和定子叶片之间的间距（通常为零点几毫米）。进口真空泵维修，相应地，分子主要与光学致密的转子叶片碰撞，从而产生高*的泵送作用。在层流（恒定）流量范围内（即压力超过 10-1毫巴 （0.75 x 10-1Torr））转子的效果因分子本身之间的频繁碰撞而受损。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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8、在真空镀膜生产设备设计之初，*发者总是需要思考如何在商业成本和技术的需要之间寻找一个平衡点。如果真空技术在设计之初没有被充分考虑进去的话，那么在后期的开发中将会出现一些问题。导致对现有系统的后续纠正措施无法落地，并且会带来计划外的成本。我们的*家将为您提供在镀膜机中正确集成真空设备切实可行的办法。二手化工泵维修

真空泵吸力不足的解决方法：

　　1、打开加油口、再打开放油阀，这时真空泵内的泵油大部分都能被排出，然后关闭加油口和放油阀。

　　2、真空泵的吸气口向大气开放，空转5秒，缸体内的剩余泵油容易被排出。

　　3、打开加油口，再打开放油阀，然后排出泵油。

　　4、关闭放油阀，把*定的新油按规定量从加油口注入。二手化工泵维修

5、若是真空泵内的油污染严重的话，则需要加上少量新的泵油，再通过运行使其清洗干净。

6、换上新泵油后，让真空泵开始运转，等温度长高后再确认其极限压力。二手化工泵维修

7、若是污染极为严重，则说明真空泵底部油渣堆积很多，若是出现这种情况则需要进行分解清理，才能清理掉底部的油渣

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分子泵应用常见问题：

1、分子泵运行以前请确定分子泵安裝妥当，电缆恰当联接并确定处在卡紧情况。

2、分子泵在接电源后及一切正常运行时旋转工件是由磁场力支撑点飘浮的，请尽.量不必碰触泵壳及控制板，非常是电缆，肯定不可以碰触。

电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。

间隙一般为0.1～0.8毫米；不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高，加工精度易于保证，故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450～4100转/分;抽气速率为30～10000升/秒（1升=10-3米3）；极限真空：单级为6.5×10-2帕，双级为1×10-3帕。真空涡轮分子泵维修

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